气体回收装置是对生产中的废气进行回收再利用，采用该系列装置是一项降低生产成本，节约能源，提高经济效益的有力措施。

　　氢气回收装置主要用于钨钼行业还原工序排出的废氢，收集废氢后进入预处理系统，经增压后由冷却器冷却，汽水他离器分离水份，然后进入纯化装置主体部分，对氢气进行精制处理，经处理后的氢气中含氧量≤5ppm，H2O≤10ppm，N2≤900ppm。氢气回收装置分为中压回收和常压回收，中压回收氢气的增压由压缩机进行，而常压回收则由罗茨风机来完成。

　　氩气回收纯化装置是对区熔单晶硅炉排出的氩气进行回收处理，通过膜片压缩机稳压器进入氩气纯化装置主体部分进行纯化处理。

　　系统特点

　　1)工艺流程简单，操作方便，自动化程度高。

　　2)吸附容量大，吸附再生速度快，吸附效率高，回收率高。

　　3)设备结构紧凑，占地面积小。

　　4)有卓越的安全性能，适用于易燃易爆场所。

　　5)性能稳定，设备运行环境为常压，能耗小，运行成本低。

　　6)设备操作弹性大，可承受较高的温度、压力、风量、浓度的波动。

　　7)投资回报期短，通常一年内可回收投资成本。